我國的空氣潔凈工程技術(shù)起始于20 世紀50年代中期,至今大致經(jīng)歷了四個發(fā)展階段:
(1) 從20世紀50年代中期到60年代中期,主要借鑒前蘇聯(lián)的技術(shù),服務(wù)于國防、航天、原子能工業(yè)與科研。與現(xiàn)代潔凈工程技術(shù)相比,在廠房、設(shè)備、氣流組織等各方面還都比較原始和粗糙,屬于起步階段。
(2) 從20世紀60年代中期到70年代后期,由于國內(nèi)外的種種原因,主要靠自力更生發(fā)展。當時參照了美國和日本的標準和技術(shù),逐步研制成高效過濾器和鈉焰法試驗臺(1965年)、潔凈工作臺(1967 年)、粒子計數(shù)器(1974 年)、裝配式潔凈室(1976年)及其他潔凈室附屬設(shè)備(風淋室、傳遞窗、余壓閥等),編制了“空氣潔凈技術(shù)措施”,奠定了我國潔凈技術(shù)的基礎(chǔ)。
(3) 從20世紀70年代末到80年代末,由于實行了改革開放的國策,發(fā)達國家的技術(shù)與設(shè)備開始進人我國市場,現(xiàn)代潔凈工程技術(shù)在我國的大規(guī)模集成電路、光導(dǎo)纖維、彩色顯像管、液晶顯示屏等工業(yè)潔凈領(lǐng)域得到迅速發(fā)展,裝備0.1um 高效過濾器的10級潔凈小室(1986年) 和無隔板過濾器(1989 年) 研制成功。同時在醫(yī)療、制藥、生物、化妝品與食品行業(yè)生物潔凈室也得到應(yīng)用,一些制藥廠對原有空調(diào)系統(tǒng)的改造中開始采用生物潔凈技術(shù)(1978年),簡易的水平“單向流”潔凈室和裝配式無菌病房用于醫(yī)院(1980年),生物安全工作臺(1981年) 和細菌采樣儀(1982 年) 研制成功。1982 年我國醫(yī)藥行業(yè)GMP公布,1983 年中國電子學(xué)會潔凈工程技術(shù)分會成立,1985 年GBJ 73--1984 《潔凈廠房設(shè)計規(guī)范》頒布,我國的潔凈技術(shù)進人穩(wěn)步發(fā)展階段。
(4) 從20世紀80年代末至今,在大規(guī)模集成電路領(lǐng)域全面引進境外資金、技術(shù)與設(shè)備,形成一批知名的國際品牌企業(yè),潔凈室的規(guī)模越來越大,風機過濾器機組(FFU,Fan Filter Unit) 和微環(huán)境技術(shù)得到應(yīng)用和推廣。在醫(yī)療和制藥領(lǐng)域潔凈工程技術(shù)趨向成熟與規(guī)范,生物安全技術(shù)發(fā)展迅速。包括微環(huán)境、密褶型無隔板高效過濾器(HEPA)、微計算機控制過濾器測試臺等潔凈技術(shù)相關(guān)的技術(shù)設(shè)備基本可以實現(xiàn)國產(chǎn),同時還開始了0.1um光劉L及相關(guān)環(huán)境的研制。1999 年IS0 14644- 1潔凈室國際標準發(fā)布后,我國等同采用此國際標準的GB 50073- -2001《潔凈廠房設(shè)計規(guī)范》頒布,此后一系列有關(guān)醫(yī)藥、醫(yī)療和生物安全實驗室的國家標準陸續(xù)頒布或正在修訂和制定中。
我國的空氣潔凈工程技術(shù)經(jīng)歷了50 多年的發(fā)展,已經(jīng)形成相當完整的技術(shù)體系和廣闊的用市場,但還必須看到,由于種種原因,在潔凈技術(shù)的高端領(lǐng)域和市場,我國還存在差距、缺少話語權(quán),還需要科技和工程技術(shù)人員的不斷努力。
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